Никифорова-Денисова
Фотоэлектрическое устройство для измерения прогиба полупроводниковых пластин
Номер патента: 769321
Опубликовано: 07.10.1980
Авторы: Бочкин, Захаров, Никифорова-Денисова
МПК: G01B 11/24, G01D 13/00
Метки: пластин, полупроводниковых, прогиба, фотоэлектрическое
...оправку 13, при этом пластина опирается на ребро лекальной линейки б, При наличии прогиба у контролируемой пластины между ее поверхностью и ребром ле,кальной линейки образуется щель. С генератора прямоугольного ,напряжения электронного блока 2 через регулировочные резисторы блока 1, соответствующий ключ излучающих диодов электронного блока 2 напряжение прямоугольной формы ультразвуковой частоты 1 поступает на один изизлучающих диодов.ВКаждый ключ по сигналу управления, поступающему с распределителя импульса электронного блока, последовательно подключает прямоугольное переменное напряжение с частотой к . соответствующему излучающему диоду 5. Каждый .из шести излучающих диодов. последовательно высвечивается - излучает поток,...
Фотоэлектрический измеритель прогибов полупроводниковых пластин
Номер патента: 603842
Опубликовано: 25.04.1978
Авторы: Бочкин, Захаров, Никифорова-Денисова
МПК: G01B 11/24
Метки: измеритель, пластин, полупроводниковых, прогибов, фотоэлектрический
...ого измерителя,Он содержит осветитель, имеющий источ- ЗОник 1 света и линзу 2, модулятор 3, оптическую систему для передачи светового потока в виде световода 4, диафрагму 5 в виде элемента с вогнутой отражающей поверхностью, например., в виде полуцилиндра, лекальную линейку 6, приемный световод 7,и электронный блок для измерения величиныпрогиба по высоте щели между линейкой иповерхностью контролируемой пластины,вкдючающий фотопривмник 8 опорного пучка 40излучения и измерительный этоприемник9. Индексом 10 обозначена контролируемаяпластина,Работае т предлагаемый измеритель следующим образом, 45Излучение источнике 1 света фиксируе 1- ся линзой 2 и плоскости модулятора 3(представляющего собой модудир ющий диск,установленный на валу...