Наум

Номер патента: 330421

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Боков, Викулина, Догадкин, Ероф, Лаврищев, Марков, Наум, Ярова

МПК: C07C 117/00, C09K 9/02

Метки: материал, светочувствительный

...не модификации,Пример 1, Готовят раствор 100 г полициклогексадиена,3 (с молекулярным весом5129, йодным числом 290 и вязкостью т0,25), полученного по авт. св. СССР191797,в смеси 100 мл ксилола и 300 мл толуола, и враствор вводят 2 г 2,6-ди-азидобензаль)-4 метилциклогексанона.Раствор наносят на,пластинку из кремния.После удаления растворителя, на подложкеобразуется пленка толщиной1 мк. Последнюю облучают через фотошаблон Уф-светомлампы ДРШна расстоянии 270 мм в течение 7 мин. Затем полученное изображение проявляют в ксилоле, который удаляет необлученные участки. Элемент схемы на фото- шаблоне шириной 7 мк воспроизводится на фоторезисте.5 После сушки и термообработки при 170 С втечение 15 мин, кремний травят в травителе (НР, НИОз -...