Монвилло
Установка для термообработки пленок на подложках
Номер патента: 1560957
Опубликовано: 30.04.1990
Автор: Монвилло
Метки: пленок, подложках, термообработки
...контролируемой спомощью термопары и поддерживаемую спомощью блока управления и источникапитания.5 1Использование кондуктивного механизма нагрева н охлаждения пленок также позволяет повысить их качество и воспроизводимость параметров, При кондуктивном нагреве термообра". ботка начинается с нижних слоев пленок. Выделяющиеся при нагреве газы беспрепятственно выходят из пленки, так как в этом случае огсутствует 1корка , которая образуется при конвективном механизме нагрева пленок, Снижается дефектность пленок, вызываемая микротрещинами.Резистивные элементы снабжены компенсаторами, что предотвращает их коробление при нагреве и, кроме того, придает им дополнительную жесткость. Наличие этих складок увеличивает общую длину резистивных...