Миттов

Номер патента: 1548664

Опубликовано: 07.03.1990

Авторы: Безрядин, Линник, Миттов, Стрилец, Сысоева

МПК: G01B 11/06

Метки: пленки, толщины

...1;, равный О или 1, выбирают из условия выполнения неравенстваОса П й 55 Доказывают,что истинная толщина с связана с д и П уравнением= МП+ д 3 (6) 3где М - целое положительное число или О, т.е. достаточно показать, что определенные по формуле (1),(3)-(5) величины с и П .всегда удовлетворяютуравнению (6) при целом значении М.По определению первых фавивых толщин с. и первых эллипсометрических периодов можно записатьйЛ так как 1 и ., по определению, целые числа, то и М является целым, Это и доказывает справедливость утверждения, что рассчитанные по формулам (3) и (5) величины с, П явля 2 а 1 ются второй фазовой толщиной и торым эллипсометрическим периодом. Аналогичные рассуждения можно привести и для любых других (4+1)-х эллипсометрических...