Минхевич

Номер патента: 490872

Опубликовано: 05.11.1975

Авторы: Минайчев, Минхевич, Одиноков, Пупко

МПК: C23C 13/08

Метки: шлюзовое

...в виде пронутренней стенке хся с боковыми атрубка для оттройства 9,обретен аку мсодержа ш,ыми откадами дляы промежя тем, чти уменьш еечцв емымц портиой отцельюнатес нцНа фиг, 1 ппоперечный иА - А.Устройство состоит из вак1 с торцовыми крышками 2гнездами 5 для транспортиркамеры промежуточной откадольных каналов б и 7 во вкорпуса камеры, сообщающиоткачиваемыми полостями, пкачки 8, уплотцительного ус ноков, В. Е. Минайчев и В. А. Михневи Ротор с продольными каналами 10 образуетс корпусом щелевой зазор, а в верхней части корпуса находятся окно 11 загрузки транспортируемых изделий ц окно 12 выгрузки цх в 5 вакуумную камеру 13 (показана пунктиром).Устройство работает следующим образом.Из окна загрузки 11 изделия попадают вгнездо 5 ротора....