Мингалева

Номер патента: 252624

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Владимирова, Коломийцов, Мингалева

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактного, толщиныпластин

...зеркал, Это отличие позволяет повысить 1 О точность измерения.Для упрощения процесса измерения через пластину пропускают сходящийся пучок лучей.Описываемый способ иллюстрируется черте жом.Бесконтактное измерение толщины пластины из прозрачного материала по предлагаемому способу производят следующим образом,Источником света 1 с помощью конденсор ной линзы 2 освещают диафрагму со щелью 3. Микрообъектив 4 при этом дает изображение щели 3 на поверхности вспомогательного зеркала 5. Наклонный сходящийся пучок лучей проходит через контролируемую пластину б, 25 расположенную вблизи поверхности зеркала 5, отражается от зеркала, еще раз проходит через пластину б и микрообъектив 7 и дает вторичное изображение 5, щели 3 в фокальной плоскости...