Масай

Номер патента: 1039438

Опубликовано: 30.08.1983

Авторы: Еситада, Казухико, Кендзи, Кенити, Киеси, Масай, Сусуму, Хироаки, Хироказу

МПК: B29D 7/20

Метки: непрерывной, пленочного

...б, но иногда для получения требуемого эффекта плазменной обработки достаточно одного анода 6. Параллельное размещение анодов б относительно оси катода 4 дает воэможность сохранять одинаковое их расстояние от поверхности катода 4 по всей его длине, что обеспеяивает однородность электрического поля,. а следовательно, однородность интенсивности низкотемпературной плазмы. Аноды 6 подключены к общей силовой клемме высокочастотного генераьора (не показан), а катод 4 подключен к земляной клемме генератора.103.9438 Для подачи материала в рабочей камере 1 смонтированы направляющиеролики 7,Для вакуумного уплотнения рабочейкамеры 1 устройство снабжено перЕдней 8 и задней 9 подготовительньэ 4 ивакуумными камерами, одним концомсоединенными с...