Лысойван

Номер патента: 890954

Опубликовано: 15.07.1982

Авторы: Дикий, Калиниченко, Лысойван, Назаров, Швец

МПК: H05H 1/00

Метки: бестоковой, плазмы

...до давления 2 10-" - 5 10-" торр, затем возбу 5 кдают Вс 1 - поле и при достижении плазмой критической плотности, при которой возможно распространение электромагнитной волны во всем рабочем объеме камеры, производят дополнительный цапуск нейтрального газа.Экспериментально момент критической плотности (ее можно рассчитать по дисперсиоцным зависимостям для данного типа волны) определяется с помощью микроволнового ицтерферометра (в нашем случае использовался ицтерферометр Уортона с длиной волны 1=8 мм) и высокочастотного зонда, расположенного вдали от ацтеццы, регистрирующего начало распространения волны.Таким образом, способ предусматривает осуществлять напуск газа в два этапа. Это открывает возможность вначале установить...