Легенкина

Номер патента: 1794907

Опубликовано: 15.02.1993

Авторы: Ипполитова, Легенкина, Пономарева

МПК: C03C 15/00

Метки: дроссельных, микроохладителей, преимущественно

...подслоя хрома проводили при температуре 55 С в растворе состава: желеэосинеродистый калий 250 г; гидрат окиси калия 30 г; вода до 1000 мм,После формирования защитной маски из напыленной металлизации медь-хром проводили вытравливание каналов прямого потока в стекле до глубины 0,015-0,02 мм в травителе состава; фтористоводородная кислота 30; серная кислота 20; уксусная кислота 20; глицерин 28; сульфосалициловая кислота 2; температура травления 30 С; время травления 6 мин; скорость травления 3 мкм/мин.После травления проводили контроль размеров каналов на микроскопе МИИи разбраковку годных плат. Затем на годных платах резервуар и дроссельную часть прямого потока (см, фиг. 1, поз. 1, 2) защищали слоем лака марки ХСЛ и сушили на...