Коузи

Номер патента: 1561832

Опубликовано: 30.04.1990

Авторы: Коузи, Тосио

МПК: G01B 7/06

Метки: металле, неэлектропроводящей, пленки, толщины, электромагнитное

...имеет толщину пленки 0=0, Минимальная величина, соответствующая точке С (фиг. 3), после изменения тока 61, показанного на Фиг. 3, превращается в величину, ниже определенной пороговой величины Ь 1 , удерживается в измерительном блоке 5 и запоминается в оперативном запоминающем устройстве (блок 25, фиг, 5). Данные, соответствующие точке С, подобным же образом запоминаются посредством использования стандартной пластины, имеющей толщину пленки П=200 мкм (блок 26, Фиг, 5). Параметр квадратного уравнения, указывающего на кривую калибровки (Фиг. 3),определяется на основании данных в этих двух точках, и после этого подготовка к вычислению измеряемой толщины пленки, соответствующей изменению тока А 1, завершается (блок 27, Фиг, 5).Главная...