Костаи

180705

Загрузка...

Номер патента: 180705

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Желнинский, Коробов, Костаи, Крикоров, Филимоненков

МПК: H01G 4/10

Метки: 180705

...полученные поочередцым осаждением в вакууме на подложку слоев диэлектрика и металла, характеризуются сравнительно высокой температурой испарения диэлектрика, что заметно. влцяет ца диэлектрические свойства.В описываемом конденсаторе упрощение технологии изготовления ц повышение удельной емкости конденсатора достипгуты применением в качестве материала диэлектрика моноокиси германия.Моноокись германия испаряют в вакууме 2 10лглг рт. ст. цз танталовой лодочки при температуре, це превышающей 1000 С, ц осаждают ца цепрогретую подложку цз ситалла. В качестве электродов использют пленки алюминия, наносимые обычных способом. Пленки на основе моноокиси германия име.ют следующие характеристики: диэлектрическая проницаемость в = 10 - 12;...