Коленк

Многослойный пленочный датчик э. д. с. холла

Загрузка...

Номер патента: 183248

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Васильковский, Коленк, Нечипуренко

МПК: G01R 21/08

Метки: датчик, многослойный, пленочный, холла

...частот в цепях, соединяющих отдельные слоидатчика, параллельно по отношению к управляющему току включены конденсаторы, напыленные между токовыми электродами соседних слоев,На фиг, 1 изображенадатчика; на фиг. 2 - егоСлои 1 датчика Холлашению к эд.с. Холла поотношению к управляюлельно, В цепи, соединяюно по отношению квключены конденсаторы няется закорачивание постояпнои составляющей э.д.с. Холла, уменьшается потребляемаядатчиком активная мощность и обеспечивается использование его для измерения мощности5 в диапазоне высоких частот.Слои 7 изготовляют напылением полупроводникового материала в вакууме. Междуслоями нанесены изоляционные пленки 3. Научасток токовых электродов 4 наносят диэлек 10 трик б, обладающий большой диэлектрической...