Климчинский
Способ контроля децентрирования линз и устройство для его осуществления
Номер патента: 1668863
Опубликовано: 07.08.1991
Авторы: Климчинский, Садов, Чернявский, Шестаков
МПК: G01B 11/27
Метки: децентрирования, линз
...14, микрообъектив 15 и формируют на позиционно-чувствительном датчике 16 с накоплением изображение тест-обьекта 4.Перед проведением контроля апре деляют минимальный шаг смещения тест-объекта 4, представляющего собой не, прозрачный экран с е щелевыми диафрагмами, Критерием выбора минимального шага является максимальное отношение 15 сигнал-шум на выходе позиционно-чувствительного датчика 11 с накоплением за один цикл измерения. Выходной сигнал позиционно-чувствительного датчика 11 с накоплением при смещении тест-обьекта 4 можно 20 представить в виде эквивалентного группового тест-объекта, число щелей которого равно е и, где и - количество шагов смещения тест-.объекта 4, На фиг. 2 а представлен вид сигнала 1(х ) с выхода...