Клейе

Номер патента: 1291823

Опубликовано: 23.02.1987

Авторы: Клейе, Хартунг

МПК: G01B 9/08

Метки: ошибок, перекрытия

...расщепле О ния хода лучей на два частичных хода лучей в соответствии с примененнымидлинами волн, расположенными в каждом иэ двух частичных ходов полосовым фильтром и приемником излучения и блоком обработки результатов, подключенным к приемникам излучения,На чертеже изображена принципиальная схема системы для определения 40ошибок перекрытия,На координатном столике 1, подвижном в перпендикулярных друг кдругу координатных направлениях хи у, находятся шаблон 2 с иэмери-45тельными метками, служащий в качестве эталонного объекта,и шаблон 3,,например, из комплекта шаблонов.Шаблон 3 представляет собой испытуемый объект и в отдельных кадрах содержит измерительные метки, отклонениярасположения которых от измерительныхметок шаблона 2...