Хуамиев

Номер патента: 1019519

Опубликовано: 23.05.1983

Авторы: Беляев, Симакин, Тимофеев, Хуамиев

МПК: H01J 9/44

Метки: алюминиевого, газонаполненного, катода, разрядника

...что одновременно протекает термическое окисление алюминиевого катода, подогреваемогс разрядом за счет тока низкой частоты, и ионное окисление за счет высокочастотного разряда в кислороде, причем Добавка инертного газа к кислороду создает условия для более локального разряда, не распространяющегося, на нерабочие части электродов. Эф-. фективность обработки повышается, так как при образовании окисной пленки за счет высокочастотного раз. ряда при повышенном напряжении пред варительно имевшиеся на катоде непрочные офисные пленки распыляются из-за интенсивной ионной бомбордировки, а вновь образующийся в таких условиях слой окиси более устойчив к воздействию импульсного разряда,чем слои, полученные при ,формовке известными способами.П р и...