Хохлун

Номер патента: 1780877

Опубликовано: 15.12.1992

Авторы: Хохлун, Ястребов

МПК: B08B 3/08

Метки: плазменной, регламентной, системой, чистки

...узла 24 входит вакуумный затвор 27, с помощью которого внутренняя полость герметичного корпуса 26 может быть изолирована от объема реактора 1, Узел 24 может быть реализован в виде, показанном на фиг, 2. В этом случае,в корпусе 25 размещен вал 28, со щеткой 29 и с приводом вращения 30. Корпус 25 герметиэирован в месте входа в него вала 28 вводом вращения 31, Вал 28 соединен с приводами продольного 32 и поперечного 33 перемещения. Возможна реализация уз510 15 20 25 30 35 40 55 ла 24 в виде, показанном на фиг, 3, В этом случае в корпусе 25 размещен волновод 34, соединенный с источником ультразвуковых колебаний 35, связанный с приводами продольного 32 и поперечного 33 перемещения,Очистку проводят следующим образом. После завершения...