Хейнц-Рюдигер
Способ получения четыреххлористого кремния
Номер патента: 988184
Опубликовано: 07.01.1983
Авторы: Рудольф, Ханс, Хейнц-Рюдигер
МПК: C01B 33/08
Метки: кремния, четыреххлористого
...200 нм ч хлористого водорода и 300 кг/ч паров хлорсилана, Газовый поток пропускают через сыпучую смесь Ферросилиция, на3 98818 гретую до 1000 С, Для отвода тепла выходящих иэ сыпучего слоя Ге% реак 1 ционных газов и для конденсации газообразного хлорида железа в головную часть реактора впрыскивают 1200 кг/ч жидкой рецеркулируемой чистой хлорсилановой смеси. Тем самым реакционный гаэ охлаждают до 280 С, т. е. до температуоры гораздо ниже температуры сублимации хлорида железа. Газовый поток из реак гора направляют в циклон для отделения выделившихся твердых хлоридов железа.Йля дальнейшей очистки газообразного продукта реакции его направляют на промывку в промывной аппарат Вентури, , в который подводят 10 м /ч циркулирую- щего...