Хеймансон

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 259597

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Бурцев, Дмитриев, Зеберинь, Калверш, Соколов, Специальное, Хеймансон

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...закрепленный в токоподводящих водоохлаждаемых губках, и механизм подачи испаряемого металла.Предложенное устройство отличается от известного тем, что оно интенсифицирует процесс испарения, и испаритель выполнен из пористого материала.На чертеже представлен общий;вид устройства.Устройство состоиг из испарителя , закрепленного в токоподводящих водоохлаждаемых губках 2, и механизма подачи 3 испа(ряемого металла.Испартпель при пропускании через него электрического тока нагревается до температуры испарения алюминия, На верхнюю поверхность испарителя непрерывно подается напыляемый материал, например алюминий, в возвратно-поступательном движении, котон, А, 3. Калверш, А, Г, ЗебериЮ, Д, Дмитриевое бюро вакуумных покрытий( -рый...