Кажаткин

Номер патента: 494799

Опубликовано: 05.12.1975

Авторы: Захаров, Иванов, Кажаткин, Красов, Неустроев, Соколов, Солянов, Суходаев

МПК: H01L 7/00

Метки: использованием, непрерывного, озон-кислородной, подложек, смеси, удаления, фоторезиста

...непосредственно под несущей лентой транспортера.На фнг, 1 показано предлагаемое устройство, общий вид, на фиг. 2 - то же, разрез; на фнг. 3 - форсунка.Устройство представляет собой транспортер с несущей лентой 1, на которой размещены слоедмет пзоб ния ого удаления фоользованием озонщее транспортер с , снабженный ран нагревательны(72) Авторыизобретения С. А, Неустроев, Е.В. Г. Солянов, В. А(7 Московск подложки 2 (лента может быть изготовлена из проволочных ветвей, соединенных одна с другой стяжками). Несущая ветвь транспортера проходит через рабочую камеру 3, в ко торой укреплены форсунки 4. Камера снабжена выхлопным патрубком 5. Под несущей лентой транспортера помещен нагреватель 6 со спиралью 7. Ленту 1 несут направляющий 8 иведущий...