Йакш

Номер патента: 911439

Опубликовано: 07.03.1982

Автор: Йакш

МПК: G03B 27/32

Метки: масок, микросхемы, подложек, совмещения

...подложки при ступенчато-шаговом способе.Известно. устройство для изготовления масок из фотолака, содержащее чувствительно перемещаемый столик, несущий изготавливаемую маску, механически соединенный с крестовым столиком, С помощью крестового столика маска грубо позиционируется. Точное позиционирование в направлениях координат Х и У вызывает бесприводный механизм точной установки, действующий между обоими столиками, работающий преимущественно на физическом эффекте (тепловое расширение, электроили магнитострикция) . Если для точного позиционирования маска должна быть повернута в плоскости ХУ вокруг определенной точки, то необходим дополнительный поворотный столик,оазмещенный на чувствительно перемещаемом столике и приводимый в движение...