H01L 7/461 — H01L 7/461

Номер патента: 519793

Опубликовано: 30.06.1976

Автор: Коровинский

МПК: H01L 7/461

Метки: пластин, полупроводниковых, резки

...движение по направляющим 11, Возвратно-поступательное движение рамке сообщается гидро- цилиндром 12. Подача заготовки 13 на инструмент, разворот на 90 и фиксация ее осуществляются приспособлением 14, отсчет координат, перемещение детали на величину изделия с учетом ширины реза - координатным 10 столом 15.На инструмент может поступать электричес 1 сий ток через токосъемники 16 от источника 17 питания, а в зону обработки подаваться электролит через сопло 18. Резка пластин по лупроводникового материала по предлагаемому способу осуществляется следующим образом.Заготовка 13, например пластина к я,закрепляется в приспособлении 14 о 20 присоской.Проволочный инструмент с нанесенными нанем зернами алмазов закрепляется одним концом в...