H01L 31/062 — с потенциальными барьерами только типа металл-диэлектрик-полупроводник

Номер патента: 1771351

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Веренчикова, Санкин

МПК: H01L 31/062

Метки: фотоприемник

ФОТОПРИЕМНИК, содержащий монокристаллическую подложку из карбида кремния, расположенный на ней эпитаксиальный слой с потенциальным барьером и металлические контакты, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности к излучению в УФ-диапазоне на длинах волн меньше 250 нм, на поверхности эпитаксиального слоя размещен изолирующий слой с окном, а потенциальный барьер выполнен в виде барьера Шоттки, содержащего между слоем металла и эпитаксиальным слоем дополнительный слой собственного окисла толщиной 20 - 70 , и расположен в окне изолирующего слоя.