H01L 23/532 — отличающиеся материалом
Контактная система к фотоэлектрическим преобразователям
Номер патента: 1464831
Опубликовано: 30.09.1994
Авторы: Карепов, Климова, Рубан
МПК: H01L 23/532
Метки: контактная, преобразователям, фотоэлектрическим
КОНТАКТНАЯ СИСТЕМА К ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯМ, содержащая последовательно расположенные друг над другом адгезионный слой, слой нихрома толщиной от 200 до 300 нм, слой меди и слой антикоррозийного металла или сплава, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности, в качестве адгезионного слоя используют пленку силицида хрома с поверхностным сопротивлением от 300 до 1000 Ом/о, а толщина слоя меди от 3 до 15 мкм.