H01J 49/36 — радиочастотные спектрометры, например спектрометры Беннета, спектрометры Рэдгеда

Номер патента: 1707651

Опубликовано: 23.01.1992

Авторы: Жоглик, Комлик, Мрочек, Рулинский

МПК: H01J 49/36

Метки: энергомасс-анализатор

...дифференциальный энергомасс-анализ, прямой массаналиэ, используя одну вакуумную камеру, что достигается за счет разворота массспектрометра. 1 вокруг оси 3 его установочного фланца 4 и переходной камеры 9,Энергомасс-анализатор работает следующим образом.Сначала устанавливают и юстируют камеру 9 и масс-спектрометр 1 относительно оси 12 исследуемого пучка, При исследовании нейтральных частиц ионизатор 5 массспектрометра включен согласно технического описания. Для аначиза заряженных частиц плазмы катоды иониэатора отключают, остальные режимы устанавливают по максимуму ионного тока масс-спектрюлетрз Полу земые масс-спектры регистрируют на диаграмл 1 ной ленте, либо заносят в нак -, ч ель автоматизированной регистрирующе си" е,. ы в виде...

Номер патента: 1181455

Опубликовано: 20.07.1995

Авторы: Быстрова, Геков, Кубарев, Похунков, Черник

МПК: H01J 49/36

Метки: высокоскоростного, параметров, пучка

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ВЫСОКОСКОРОСТНОГО МОЛЕКУЛЯРНОГО ПУЧКА, содержащий операции ионизации и разделения ионного пучка путем развертки спектра масс электрическим напряжением и регистрации пиков ионного тока, по величине и положению которых на оси развертки определяют плотность и массовый состав исследуемого пучка, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения способа, на пути ионного пучка между камерой ионизации и первой сеткой создают тормозящее электрическое поле, задерживающее фоновые ионы с тепловыми скоростями, а напряжение развертки прикладывают между первой сеткой и селекционирующей системой анализатора, измеряют пик выбранного компонента, затем увеличивают потенциал тормозящего электрического поля до...