Гомов

Интерференционное устройство для измерения линейных перемещений объекта

Загрузка...

Номер патента: 1670409

Опубликовано: 15.08.1991

Авторы: Барановский, Бондарчук, Гомов

МПК: G01B 21/00

Метки: интерференционное, линейных, объекта, перемещений

...5, здкрепленный нэ перемещающемся объекте (не показан). В точку рекомбинации опорный луч приходит с фазой, зависящей от положения референтного отражателя 4 и являющейся при определенном положении референтного отражателя 4 постоянной при неизменной длине волны излучения лазера 1. Фаза измерительного луча в точке рекомбинации при неизменной длине волны лазерного излучения являетсч функцией, зависящей от положения отражателя 5. В результате рекомбинации опорного и измерительного лучей образуется поток, падающий на фотоприемник 7, интенсивность котороо зависит оз положения отражателя 5, Количество зафиксированных фотоприемником 7 интерференционных5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 полос является информацией о перел 1 ещении отражателя...