Гнедкова

Номер патента: 1791408

Опубликовано: 30.01.1993

Авторы: Гнедкова, Мустафин, Сачков

МПК: C03C 15/00

Метки: кварцевых, пластин, полировки

...способов химической окончательной полировки кварцевых пластин с применением растворов - травителейПримечание Пластины, не подвергави. иеся травлению Пластины, обработанные по способу - прототипу 2,1 - 3,4 20-35 240 4,8-5,4 Н 35 О/о Н 35% Н 35% Н 35%Н 35%) - 79,4 об, % СН 2 0 - 20,6 об. о 40 40 25 25 25 30 40 60 120 3,2-6,8 3 8-5,6 4,8-5,6 38 - 4,1 6,6-7,4 рабатывают раствором, содержащим 7580 об.% 35%-ной фтористоводородной кислоты, 20 - 25 об.о/о муравьиной кислоты втечение 35-45 с при температуре 50 - 80 С споследующей промывкой в дистиллированной воде, Процесс производят во фторопластовой емкости, Кварцевые пластиныустанавливают в кассету, устроенную такимобразом, чтобы пластины смачивались рас. твором с обеих сторон, и не...