Гелевер

Номер патента: 1137545

Опубликовано: 30.01.1985

Автор: Гелевер

МПК: H01J 37/30

Метки: электронно-лучевое

...диаметранеобхсдим шаговый стол, связанныйс вакуумной камерой.Целью изобретения является расширение поля сканирования для неподвижного объекта при упрощении конструкции электронно-лучевого устройства.Поставленная цель достигается тем,что в электронно-лучевом устройстве, содержащем расположенные в вакуумной камере электронную пушку,отклоняющую систему, немагнитныйобъектодержатель, а также электромагнитную Формирующую линзу ,координатный стол и систему сканированияэлектронного пучка, Формирующая линза размещена на координатном столевне вакуумной камеры с противоположной от электронной пушки стороныобъектодержателя и введен блоксинхронизации системы сканированияэлектронного пучка и координаты Формирующей линзы.Ка чертеже схематически...