G21K 1/14 — с использованием устройств для изменения заряда, например для нейтрализации или перемены знака электрического заряда пучков
Способ получения сфокусированного пучка нейтральных частиц с энергией выше 1 кэв
Номер патента: 1610509
Опубликовано: 30.11.1990
МПК: G21K 1/14
Метки: выше, кэв, нейтральных, пучка, сфокусированного, частиц, энергией
...Й9 = -- - --- (2)2 Е (Е)где е - заряд электрона;Ы - поляризуемость нейтральных частиц газа, заполняющего камеру;Е - энергия частиц ионногопучка;6 (Е) - сечение перезарядки ионного пучка на газе (илипаре), заполняющем камеру.С учетом малости величин Рри и диаметр пучка нейтральных частиц выражается из (1) и (2) в видеР, Р л (3)2 Е Р(Е) Из (3) следует, что наименьшийдиаметр пучка нейтральных частицсоответствует такой комбинации сортаионов и сорта газа, заполняющегокамеру перезарядки, для которой величина ОЕ/ имеет наименьшее значение,Установлено, что наименьшее значение этого отношения может быть получена, когда через заполненную газомкамеру перезарядки пропускают пучокотрицательных ионов.Способ получения сфокусированного пучка...