G01L 7/00 — Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью элементов, чувствительных к механическому воздействию или давлению упругой среды

Номер патента: 1605724

Опубликовано: 10.10.2006

Авторы: Крицын, Ладягин

МПК: G01L 7/00

Метки: давления, датчика, чувствительный, элемент

Чувствительный элемент датчика давления, содержащий прикрепленный к основанию упругий элемент, образующий с ним вакуумированную камеру, в которой размещен геттерный узел и гермовводы, закрепленные в основании, отличающийся тем, что, с целью обеспечения стабильности вакуума в условиях хранения и эксплуатации чувствительного элемента, в него введена капсула с химическим поглотителем воды, закрепленная в камере напротив геттерного узла, а геттерный узел выполнен в виде проволочной спирали из металлического хемосорбента, которая покрыта газонепроницаемым покрытием и закреплена на гермовводах.