Фугель
Вакуумный насос
Номер патента: 590481
Опубликовано: 30.01.1978
Авторы: Веркин, Гимпелевич, Захарченко, Удовенко, Фугель
МПК: F04B 37/02
...объем ттера, что увеличивает пуса. На чертеже гаемый насос вематически 50 казаазрезе. е чИзобретение касается вакуумной техники, Известны вакуумные насосы, содержащие испаритель геттера, расположенный в охлаждаемом корпусе 111.В этих насосах испаритель и охлаждаемая поверхность корпуса неподвижны, поэтому напыление геттера на поверхность неравномерно. Это ограничивает быстроту откачки насоса.Известен также вакуумный насос, содер;кащий герметичный охлаждаемый корпус и испаритель геттера, размещенный внутри защитного кожуха 121,Этот насос является наиболе близким решением к описываемому изобретению по своей технической сущности.В таком насосе напыление геттера происходит на подвижный сорбционный элемент, охлаждаемый за счет...