Фреик

Способ очистки вакуумных камер отостаточных газов

Загрузка...

Номер патента: 808106

Опубликовано: 28.02.1981

Авторы: Олеськив, Фреик

МПК: B01D 53/00

Метки: вакуумных, газов, камер, отостаточных

...газопоглошающего вешества (геттера) используют иодид калия.Перед распылением в объеме камеры мелкокристаллический порошок иодида калия нагревают до 600 - 650 С для освобождения от кристаллически связанной влаги. Получающаяся при распылении пленка не ше. лушится, не отслаивается, имеет небольшой коэффициент адгезии с поверхностью камеры.Пример. Вакуумную камеру, изготовленную из низкоуглеродистой стали предварительно откачивают до 1 О мм рт.ст. Затем в камере распыляют термическим путем предварительно прокаленный до 650 С иодид калия. Вакуум после распыления достигает 10 мм рт. ст. Контроль с помощью омегатрон ного масс-спектрографа показывает присутствие следовых количеств вото дяных паров и гидроксильных групп.Применение иодида...