F04B 37/18 — для особых газов или паров

Номер патента: 167600

Опубликовано: 01.01.1965

МПК: F04B 37/18, F04F 11/00

Метки: 167600

...используется разряд пеннинга, в результате которого происходит внедрение ионизированного газа в катоды с одновременным распыливанием катода и сорбцией газа распыленным материалом катода на стенках анода и других поверхностях насоса. С возрастанием энергии ионов оба процесса - внедрение ионов и распыление катодов - интенсифицируются, что приводит к увеличению скорости откачки насоса.Предлагаемый насос отличается от известных тем, что между анодом и катодом размешен сетчатый электрод, потенциал которого имеет промежуточное отрицательное значение между потенциалом анода и катода, Такое выполнение насоса позволяет увеличивать скорость откачки путем повышения энергии ионов без увеличения напряженности магнитного поля,На чертеже изображена...