Элщрейк

Номер патента: 290064

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Ижванов, Королев, Стол, Элщрейк

МПК: C21D 9/00

Метки: газовойфазы, покрытий

...фазы, содержащее вертикально-расположенную реакционную камеру со съемными днищами, имеющими каналы для ввода и вывода газа, и сальниковые уплотнения для вертикального закрепления подложки по оси камеры.Предложенное устройство отличается от из вестного тем, что наружные стенки реакционной камеры и нижнее днище снабжены змеевиками для циркуляции теплоносителя, а каналы для ввода и вывода газа расположены в верхнем и нижнем днищах концентрически 1 относительно подложки под углом 20 - 60 к ее оси. Это обеспечивает равномерность осаждения покрытия. ертеже показано описываемое устроц из вертикально расположеннои смпымп днищами 2 ц 3, в коканалы 4 и 5 для ввода ц выльниковых уплотнений б для 25 акрепления подложки 7 по оси ные стенки камеры...