Диктов

Номер патента: 846999

Опубликовано: 15.07.1981

Авторы: Диктов, Ерышкин, Федоров

МПК: G01B 7/04

Метки: жидкой, толщиномер, электропроводнойпленки

...Ч между до 2полнительными электродами, а такжевыходного напряжения Ч толщиномераот толщины Н жидкой пленки,Толщиномер содержит два электрода1 и 2, установленных заподлицо с по-верхностью подложки 3, с межэлектродным зазором 4, превышающим наибольшую величину измеряемой толщины пленки 5 в 1,5-4 раза, генератор 6 напряжения, к одной из выходных клемм 7 15которого подключен первый электрод1, измерительный прибор 8, дополнительные электроды 9-13, установленные с зазором 14 между ними, равнымминимальной величине измеряемой тол Ощины пленкИ Н; , причем все нечетные дополнительные электроды подключены ко второму основному электроду,четные - к другой клемме 15 генератора 6, а измерительный прибор 8выполнен в виде измерителя напряжения и...