Чобрете
Способ очистки поверхности подложки
Номер патента: 365335
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Авторы, Чобрете
МПК: C03C 17/09
Метки: поверхности, подложки
...графгита.производится в высо.рт. ст. и менее), что дсор бцшо оста точ и ы; 11 оиы метал. бым известным получения ноно зуОт капиллярн 5 изготовленный и Очистка пов ком вакууме (1 сводит до м;Ви ГЯ ОЗ ИЯ ПОДЛОЖи МОГУ спосооо в некото о-дугово з танта ерхност:, О,.1 ма я я кСпособ о:ис РЕД;1 ЯИЕСЕИ Е 15 кууме путем ио 111 гшсг тем, То,иов.шения адге стку производят рого затем няиотк 1 поверхности под иа иее пленки мста иной бомбардировки с целью улучшения зии металла к подл ионами металла, пл сят иа поверхность оукки ие. ЗЛЯ В В 1- от.гичаюочистгои и ЖЕЕ, ОЧИ- ,нку котоодло кк 1,11 зобрстеиие относится к способу очистки нгверхиости подложкииа которую наносят пленку металла конденсацией его паров в высоком,ва к ууа е.Известны способы...