C25F 3/30 — полупроводниковых материалов

Номер патента: 167729

Опубликовано: 01.01.1965

Автор: Савченко

МПК: C09G 1/00, C25F 3/30

Метки: германия, пластин, полирования, электрохимического

...М /09 1Известны способы электрохимического полирования пластин германия в растворе электролита с использованием постоянного тока, подводимого к аноду-пластине и к катоду- инструменту,По предлагаемому способу, с целью упрощения процесса получения пластин с плоской и чистой поверхностью и сбережения отходов германия, полирование производят в дистиллированной воде при плотности тока 0,04 - 0,08 а/см 2 с помощью графитового катода-инструмента. Последний приводят в непосредст. венный контакт с полируемой пластиной и сообщают ему относительно пластины возвратно-поступательное движение с частотой 2 - 8 раз в минуту. Способ электрохимнческого полированияпластин германия с использованием постоянного тока, подводимого к аноду-пластине и...