C23F 1/24 — для травления кремния или германия

Номер патента: 162403

Опубликовано: 01.01.1964

МПК: C23F 1/24

Метки: 162403

...раствор перекиси водорода и О 50/-ный раствор марганцевокислого калия в соотношения 8: 1. Это Исключает необходимость применения дорогостоящей платиновой и кварцевой посуды.В сосуд из винипласта, полиэтилена, фторопласта или другого материала, стойкого к деиствию перекиси водорода, маргенцевокислого калия и соляной кислоты, погружают без предварительной пескоструйной очистки германий и заливают вначале раствором, содержащим марганцевокислый калий, а затем до полного покрытия металла раствором перекиси водорода.В результате химических реакций выделяется атомарный кислород, который окисляет поверхность германия. Образуется двуокисная пленка.Через 4-6 мин травитель сливают. Для снятия двуокисной пленки и растворения осадков германий...