C23C 18/22 — шерохование, например травление

Номер патента: 1789573

Опубликовано: 23.01.1993

Авторы: Ершова, Мартынова, Терентьев, Трифонов

МПК: C23C 18/22

Метки: металлизацией, поверхности, полифениленоксида, химической

...подложек в смеси предлагаемого состава, так как при выдержке образцов в течение времени до 5 минут и свыше 7 минут величина адгезии снижается до 130-140 кгс/см, Такое снижение прочности сцепления химико-гальванического медного слоя, по-видимому, связано в первом случае с недостаточной насыщенностью вновь образуемых функциойальных групп, а во втором случае- с образованием темного налета продуктов травления полифениленоксида вследствие избыточного насыщения поверхности диэлектрика реагентным газом, снижающим адгезию из-за раэрыхления тончайшего поверхностного слоя материала. В качестве примера М 1, иллюстрирующего предполагаемое изобретение, приведем следующее: образец арилокса, имеющий размеры 1,6 х 1,2 см и толщину 0,1 см,...