C23C 16/52 — управление или регулирование способа покрытия

Номер патента: 1680800

Опубликовано: 30.09.1991

Авторы: Гаркушин, Космынин, Мощенский, Трунин, Штер

МПК: C23C 16/52

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...нижнюю зону нагрева в кварцевые10 трубки 10 помещаются чаши 11 и 12 тигля изнитрида бора с эталоном (прокаленный оксид алюминия) и исходной смесью. Включа- .ется подача аргона (инертного газа), камера1 и трубки 10 заполняются аргоном, Затем1 кварцевые трубки 10 закрываются чашами 7и 8 подложки из стали (или другого материала, в том числе инертного, как, например,нитрид бора). Чаша 7 подложки являетсяэталоном, чаша 8 подложки служит для ре 20 гистрации взаимодействия летучего соединения.Для определения температуры образования летучего соединения металла (неметалла) осуществляют операции в следующей25 последовательности; стабилизируют температуру верхней зоны нагрева; нагреваютнижнюю зону с определенной заданнойскоростью (10...