C23C 16/50 — путем использования электрических разрядов

Номер патента: 1738872

Опубликовано: 07.06.1992

Авторы: Денисенко, Мещеряков, Перфилов, Поздняков, Сарин, Храмов

МПК: C23C 16/50

Метки: двуокиси, кремния, пленок

...потока паров тетраметоксисилана (ТМОС), обеспечивающую установление в реакционном (поуколпачном) объеме давления (1,80,1) 10 мм рт.ст. После установления необходимого давления паров ТМОС с помощью натекателя устанавливают величину потока воздуха, обеспечивающую установление в реакционном объеме давления (4,5 + 0,1) 10 мм рт,ст., причем воздух в подколпачный объем поступает через фильтр, обеспечивающий его очистку от пыли. Затем на электроды подают переменное напряжение частотой 1000 Гц и устанавливают плотность тока разряда 0,34 +. 0,03 МА/см, Скорость роста пленки двуокиси кремния в этих условиях 0,230,25 мкм/ч. При достижении необходимой толщины пленки процесс осаждения и рекращают.Контроль толщины пленки осуществляют с помощью...