C23C 16/455 — характеризуемые способом, используемым для введения газов в реакционную камеру или для модифицирования газовых потоков в реакционной камере

Номер патента: 1194042

Опубликовано: 23.07.1991

Авторы: Алексеев, Билибин, Дробот, Земсков, Игуменов, Ким, Ларионов, Луговой, Ямпольский

МПК: C23C 16/455

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...диапазоном регулирования толщины наносимых слоев, в томчисле в многослойных покрытиях, чтодостигается благодаря вводу веществапокрытия непосредственно под подложку раздельно от газа-реагента, воэможности изменения навески веществаи дозированной подачи газа-реагента,соответствующих толщине получаемогослоя и оптимальной скорости его наРащивания,ный цилиндрической формы блок 13 подачи газов с встроенным в него нагревателем 14, К нижнему торцу блока 13 подведена трубка 15 для подачи газа-носителя, а на верхний торец ограниченный горизонтальной кольцевой поверхностью, поставлена перфорированная тарелка 16, заполненная ,пористым материалом типа стекловаты 10 с нанесенным на него веществом для" покрытия. Сопрягаемые поверхности,., блока 13 и...

Номер патента: 1347504

Опубликовано: 23.07.1991

Авторы: Быков, Гельфонд, Земсков, Игуменов, Ким, Ларионов, Никифоров, Царев

МПК: C23C 16/455

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...перфорированную тарелку 10. Затем тарелку О устанавливают в камеру-шлюз 14. При достижении заданной температуры подложки 6 и газа- носителя, тарелку 10 с исходным веществом посредством штока 12 через вырез 9 в экране 8 устанавливают на блок 1 подачи газа, при этом вырез 9 перекрывается заслонкой 13, укрепленной на штоке 12. Нагреваемое горячим газом -носителем, исходное ве" щество испаряется и через полость экрана 8 переносится к поверхности подложки 6, к которой через трубку 15 подают газ-ре агент. Концентрацию паров исходного вещества измеряют по поглощению излучения источника 21 молекулами исходного соединения. Сигналы с приемника излучения 22 и измерителя 23 расхода газа-реагента поступают на блок управления, с которого управляющий...