Бубляев

Номер патента: 1395034

Опубликовано: 15.09.1989

Авторы: Баранова, Бубляев, Дьякова, Явор

МПК: H01J 49/44

Метки: анализа, заряженных, спектрометр, углового, частиц, электростатический, энергетического

...второго порядка относительно угла раствора пучка 2 Ы, К - разрешающая способность, Ч Ч, Ч - потенциалы, поданные на части 1, 2, 3 внешнего электрода от источников питания 9, 10, 11, Разрешающая способность вычислялась при ширинах входной и выходной щелей,равных Я 0,2510 й,и углах раствора пучка, равных 2=0,1 рад, по известной формуле К=0/(2 Я+СЫ ). Расчеты проводились для симметричной подачи потенциалов: Ч=7 и симметричном расположении кольцевых зазоров относительно входной 5 и выходной б щелей.Сравнение параметров предлагаемого спектра с параметрами прототипа по5 139503 казывает, что при угле полураствора конуса / =38 линейная дисперсия возрастает в 1,2-15 раза, 11 ри этом коэффициент аберрации С сохраняет тот же порядок величины,...