B24B 49/12 — с помощью оптических средств
Прибор для контроля качества полировки полупроводниковых пластин
Номер патента: 258463
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Колтун, Концевой, Татаренков
МПК: B24B 49/12, G01N 13/00
Метки: качества, пластин, полировки, полупроводниковых, прибор
...прибора.Прибор содержит водородную лампу 1, кварцевую лампу 2, фильтр 3 из пластин кремния, обработанных окисью хрома (набор этих пластин практически вырезает диапазон 0,28 лтк, так как при остальных длинах волн коэффициент отражения резко снижается и составляет 30 - 40%), плоские зеркала 4, подставку 5, на которую устанавливают исследуемые пластины б; модулятор 7; фотоумножитель 8 типа ФЭУили ФЭУс кварцевым входным окном; блок питания 9 водородной 5 лампы; блок 10 регистрации фототока ФЭУ.Прибор работает следующим образом.Ультрафиолетовое излучение лампы, многократно отражаясь от стопки пластин кремния, практически становится состоящим из длин 10 волн, лежащих в области 0,28 ттк. При установке исследуемой пластины с более грубой...
Фотоэлектрическое устройство для программного управления оптическим профилешлифовальным
Номер патента: 406713
Опубликовано: 01.01.1973
Автор: Авторы
МПК: B24B 49/12
Метки: оптическим, программного, профилешлифовальным, фотоэлектрическое
...точет изобретения тор К мяподведен световод с дву направлен к электроИзобретение относится к области станкостроения.Известно фотоэлектрическое устройство для программного управления оптическим профилешлифовальным станком по основному авт. св.204176.Недостатком известного устройства является необходимость подбора фоторезисторов матрицы по минимальной инерционности.Повышение точности обработки за счет уменьшения инерционности фоторезисторов матрицы обеспечивается тем, что освещение каждого фоторезистора матрицы осуществляется через расщепленный световод, имеющий три торца, один торец которого обращен к источнику постоянного подсвета, второй торец - - к светочувствительному окну фоторезистора, а третий - к экрану оптического...
Прибор активного контроля для шлифования деталей с прерывистыми поверхностями
Номер патента: 1440680
Опубликовано: 30.11.1988
Авторы: Кузьменко, Лифанов, Чабанец
МПК: B24B 49/12
Метки: активного, поверхностями, прерывистыми, прибор, шлифования
...станка на б ок 1 периодического арретирования, а с его выхода -- на механизм 2 аррстирования, поддерживает измерительные наконечники В арретированном положении.После пуска цикла шлифования арретированное положение наконечников сохраня- ЕТСЯ ЕШЕ НЕКОТОРОЕ ВРЗМЯ 1 арр=)цакс, НЕсбходимое для подвода бабки и снятия чернового припуска. В течение этого времени сигнал, поступающий с Выхода генератора 10 сброса на вход пикового детектора, имеет фазу, при которой запрешается прохождение измерительного сигнала на никовый детектор 12.По окончании :ервого цикла арре,"и рсВания иакснечи.". измерительного устройства 1 спускается иа деталь, фаза сигнала на выходе генератсиа 10 сброса меняется на противопсложн)ис, при кстогой опорный сигнал с Выхода...