Асфандиярова

Номер патента: 934254

Опубликовано: 07.06.1982

Авторы: Азнабаев, Асфандиярова, Данилин, Петрова

МПК: G01K 7/34

Метки: температуры

...образуют компенсирующий . пироэлектрический элемент, Все электроды ииеют конфигурацию гребенок, причем электроды 4 и 5 одной поверх- о ности пироэлектрического слоя 3 размещены с зазором друг в друге, а электроды 6 и 7 другой поверхности повторяют по конфигурации и расположению относительно слоя 3 электроды 55 4 и 5 и также размещены один в другом с зазором. Электроды 4-7 электрически изолированы. Пироэлектрические элементы могут быть выполнены методами планарной технологии, Ширина зубьев гребенки электродов может быть выбрана в пределах 1-50 мкм, предпочтительная величина зазора не должна превышать 10-20 мкм, а толщина слоя пироэлектрического материала может выбираться в пределах 50-2000 мкм.Электроды 4 и 6 активного...