Асаула
Устройство наборной диафрагмы
Номер патента: 708290
Опубликовано: 05.01.1980
Авторы: Асаула, Брайнин, Ганецкий, Колесник
МПК: G03F 1/02
...поверхностиотсчетной маски 7. На каждой из шторок 2 закреплен якорь 10, Четыре ста- отора 11 закреплены на основании 1.Направляющие 12 закреплены на основании 1 со стороны боковых поверх,ностей шторок 2.Аэростатическая подушка каждой изшторок образуется подачей избыточного давления воздуха в зазоры междуповерхностями:плоскостью д основания 1 и сопряженной с ней поверхностью шторки 2с одной стороны;боковыми поверхностями шторки 2и бокоными поверхностями направляющих 12;поверхностью а шторки 2 и поверхностью н направляющей 5. 25Параметры аэростатической подушкирегулируются системой регулированиявоздуха, содержащей приборы регулировки давления, расхода и очисткивоздуха. 30Таким образом, величина аэроста. -тической подушки между...