Архаткин

Номер патента: 783892

Опубликовано: 30.11.1980

Авторы: Архаткин, Афонин, Иванов, Каганова, Сильченкова, Тарасов

МПК: H01L 41/00

Метки: объекта, положения, точной, установки

...расширения.Подвижное соединение централЬно" го держателя с силовыми гофрированными стальными мембранами и торСйойа" ми приводов осуществляется с помо щью элементов разгрузки, выполненных, например, в виде опорных систем качения, расположенных по три по каждой координатной оси. Так, по оси Х расположены опорные систейы качения 18, 19 и дополнительная система качения 20. Три опорные системы качения, расположенные по од ной координатной оси, осуществляют силовое замыкание силовой гофрированной стальной мембраны, центрального держателя и приводов по этой оси и создают подвижное соединение 4 центрального держателя с другими вэа имно перпендикулярными приводами.Устройство работает следующим обрзом. Для перемещения координатно" го стола 1 вдоль...

Номер патента: 752559

Опубликовано: 30.07.1980

Авторы: Архаткин, Афонин, Иванов, Каганова, Сильченкова, Тарасов

МПК: H01L 41/00

Метки: объекта, положения, точной, установки

...перемещение толкателя центральному держателю, и помещенного внутри стакана 17, жестко связанного с основанием и мембраной и жестко прикрепленного к корпусу со стороны мембраны.Устройство работает следующим образом.Для перемещения, например, по оси Х на пьезоэлектрический составной толкатель 14 привода 4 подается напряжение в диапазоне от 0 до +-300 в, вызывающее соответствующую деформацию толкателя. Одновременно на пьезоэлектрический полу- волновой вибратор 11 и чствертьволновые впбраторы 12, 13 подается переменное напряженпе УЗ-частоты, величина которого составляет 30 - 50 В. В результате вибрации статическое трение в парах: полуволновой вибратор 11 - силовая мембрана 8, вибратор 11 - мембрана прп:,с 5, четверть- волновой...