Агапьев

Номер патента: 894923

Опубликовано: 30.04.1982

Авторы: Агапьев, Воробьев, Кузнецов, Мамонова, Оганесян, Самойлова, Флеров, Щеголев

МПК: B01D 13/00

Метки: фильтров, ядерных

...Свитцов Техред И, Заболотнова Редактор Е, Месропова Корректор С, файн Заказ 363/270 Изд. Юо 127 Тираж 733 Подписное НПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская иаб., д. 4/5Тин, Хауьи. фил, пред. аПатеиь полное вытравливание не защищенных маской областей, а затем пленку облучают ускоренными ионами с длиной пробега в массе полимера большей, чем толщина пленки, и с дозой облучения, обеспечивающей плотность пор 10 в - 10 пор/см, после чего облученную пленку подвергают травлению для образования пор.П р и м е р 1. Полиэтилентерефталатная (лавсановая) пленка толщиной 15 мкм облучается ускоренными ионами через стальную маску толщиной 0,5 мм с регулярными цилиндрическими отверстиями...