Патенты с меткой «вжидкой»

Номер патента: 834802

Опубликовано: 30.05.1981

Автор: Алешин

МПК: H01L 21/00

Метки: вжидкой, кассета, среде

...3; на фиг. 5 - сечение Д-Д на фиг. 2.Кассета содержит основание 1 с выступом 1 а на верхней плоскости основания в виде так называемого ласточкиного хвоста для Фиксации кассеты в загрузочном устройстве и агрегата для жидкостной обработки (не показаны). На нижней плоскости основания выполнены четыре выступа 1 б, в которых жестко зафиксированы направляющие 2, по которым перемещаются ползуны 3 и 4. В ползунах закреплены оси 5, на которых установлены валки 6 с кольцевыми канавками, выполненными в обкладке 7 из химически инертного материала, например Фторопласта (кольцевые .канавки служат для удержания обрабатываемых пластин). На концах осей 5 установлены резьбовые втулки 8 и 9, служащие для регулировки положения валков 6 по высоте. Нижние...