Патенты с меткой «высокоориентированной»

Способ напыления высокоориентированной пьезоэлектрической пленки окиси цинка

Загрузка...

Номер патента: 1683184

Опубликовано: 07.10.1991

Авторы: Бром, Гранкин, Иванов, Кальная, Марушко, Огородник, Прядко

МПК: H04R 31/00

Метки: высокоориентированной, напыления, окиси, пленки, пьезоэлектрической, цинка

...П 7 ои изменении дозы облучения от 10 до 10 Р параметры пленок меняются мало, оставаясь весьма высокими. Повышение дозы до 10 Р пракЯ тически не влияет на параметры пленки, однако подложка приобретает окраску, что свидетельствует об образовании в подложке значительного количества точечных дефектов (центров окраски), снижающих механическую прочность материала подложки,Таким образом, в интервале доз облучения от 10 до 10 Р создается возможность получения высокоориентированных пъезопленок ЛпО на скоростях, превышающих в 2 - 5 раз скорость напыления на необлученные подложки, Облучение диэлектриков ионизующим облучением в том числе и у -квантами использовалось преимущественно для получения электретного эффекта и не использовалось для...