Патенты с меткой «выкууме»

Номер патента: 427612

Опубликовано: 05.07.1975

Авторы: Жиглинский, Путилин

МПК: C23C 13/08

Метки: выкууме, нанесения, покрытий

...плоский испаритель 2 ложкодержатели 3, выполненные в виде расположенных друг под другом колец, параллельных испарителю и имеющих с ним общую ось вращения. Положение центров подложек 4 задано формулой:(Ь - 1,056) + о = 1,056-,где й - расстояние от испарителя до подложкодержателя;о - расстояние от осиложкодержателей доподложек,При таком расположении испарителя нподложкодержателей толщина слоя в центреподложек не зависит от ее местоположения вмомент начала и конца испарения. При обычной геометрии толщина слоя в центре разныхподложек может отличаться на величину до 1- где и - число оборотов подложкод Зи жателя за время напыления слоя. Обыличина и равняется 300 в 5 оборотаэтому полосы пропускания интерферных фильтров, полученных на...